靜電吸盤
基本原理：
異向電荷之間相互吸引，即Wafer和Electron之間通過不同種電荷之間的庫侖力相互吸引，使Wafer穩定在電極上。
結構上可分為：單機型和雙極型，從靜電吸盤材料上可分為庫侖力型和迥斯熱背型。
分類：
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描述
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特點： |
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1.一體燒結成型； |
